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靜態(tài)二次離子質(zhì)譜儀的主要用途和常見問題
來源:測試GO 時(shí)間:2022-08-25 15:10:22 瀏覽:2049次

靜態(tài)二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)。在此類質(zhì)譜儀中,二次離子被提取到無場漂移管,二次離子沿既定飛行路徑到達(dá)離子檢測器。由于給定離子的速度與其質(zhì)量成反比,因此它的飛行時(shí)間會(huì)相應(yīng)不同,較重的離子到達(dá)檢測器的時(shí)間會(huì)比較輕的離子更晚。此類質(zhì)譜儀可同時(shí)檢測所有給定極性的二次離子,并具有極佳質(zhì)量分辨率。

 靜態(tài)二次離子質(zhì)譜儀示圖片

TOF-SIMS測試用途:

1.可對(duì)H-U元素進(jìn)行定性分析(定量需標(biāo)樣),檢測極限可達(dá)ppm或更低的濃度。

2.良好的深度分辨率(0.1-1nm),但濺射速率很慢(<1μm/H)。

3.極小小面積分析,最小區(qū)域可達(dá)直徑80nm

4.可分析有機(jī)物,能直接輸出有機(jī)物分子式;

5.可對(duì)元素進(jìn)行面分布分析。


TOF-SIMS測試問答

Q1、離子后面帶的正或者負(fù),為什么都是正一價(jià)或負(fù)一價(jià)呢?

這個(gè)正或者負(fù)只是代表正離子或者負(fù)離子,與價(jià)態(tài)無關(guān)。

Q2、請(qǐng)問測試TOF-SIMS時(shí),正負(fù)離子都需要測,那么需要幾個(gè)樣品呢?是在同一個(gè)樣品上選取不同的區(qū)域嗎?

如果是質(zhì)譜和二維成像,是一個(gè)位置,因?yàn)闆]有損傷,采集完正的可以繼續(xù)采集負(fù)的;如果是深度分析,需要換位置,分別測試正離子和負(fù)離子。

Q3、TOF-SIMS可以測離子含量嗎? 答:不能。TOF-SIMS靜態(tài)二次離子質(zhì)譜,測試離子強(qiáng)度,定性測試,不能定量。

不能。TOF-SIMS靜態(tài)二次離子質(zhì)譜,測試離子強(qiáng)度,定性測試,不能定量。

Q4、 TOF-SIMS中,質(zhì)譜測試濺射厚度?

一般23層原子,小于1nm


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