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    俄歇電子能譜(AES)

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    俄歇電子能譜(AES)

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    項目介紹

    俄歇電子能譜(Auger Electron Spectroscopy, AES)是用具有一定能量的電子束(或X射線)激發(fā)樣品俄歇效應(yīng),通過檢測俄歇電子的能量和強度,從而獲得有關(guān)材料表面化學(xué)成分和結(jié)構(gòu)信息的方法。

    AES主要可以用于:固體表面元素定性分析表面表面微區(qū)分析(線掃描、面掃描)、原子的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)分析、元素沿深度方向的分布分析、表面元素半定量分析等。

    樣品要求

    1. AES元素分析范圍為Li~U,只能測試無機物質(zhì),不能測試有機物物質(zhì),目前儀器檢出限為~3 atomic %;

    2. 塊體/薄膜樣品尺寸不超過5 x 5 x 3mm;粉末樣品提供10mg;

    3. 由于AES測試深度太淺,無法對樣品噴金后再測試,因此只能測試導(dǎo)電性較好的樣品,絕緣樣品無法測試;

    4. 樣品制備好以后,盡可能真空密封送樣,避免樣品吸附空氣中的污染物,對表面測試造成影響;

    5. 樣品在超高真空下必須穩(wěn)定,無腐蝕性,無磁性,無揮發(fā)性等。

    項目案例

    常見問題
    1、AES的優(yōu)點是什么?

    高空間分辨率。

    2、俄歇電子能譜的逸出深度為多少?

    樣品表面0.4-2nm。

    3、俄歇電子能譜可以獲得哪些信息?

    表層成分和表面化學(xué)態(tài)。

    4、XPS中的俄歇譜與單獨的AES有什么區(qū)別?

    XPS使用X射線激發(fā),采集的俄歇譜峰能量分辨率高一些,有的譜峰能用于化學(xué)態(tài)識別;AES用電子束激發(fā),會破壞有些材料的化學(xué)鍵,主要適合元素分析。AES的優(yōu)點是高空間分辨率,如果不是分析微米納米級微區(qū),就不需要使用AES。

    俄歇電子能譜(AES)

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