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掃描電子顯微鏡樣品處理有什么要求?

來源：時間：2022-11-23 17:10:09 瀏覽：2694次

掃描電子顯微鏡的優(yōu)勢為可以直接觀察非常粗糙的樣品表面，參差起伏的材料原始斷口。但其劣勢為樣品必須在真空環(huán)境下觀察，因此對樣品有些特殊要求，籠統(tǒng)的講:干燥，無油，導(dǎo)電。本篇文章整合了海量資料為大家分析掃描電子顯微鏡的樣品要求。

強磁材料高倍20w倍形貌

1、形貌形態(tài)，必須耐高真空

例如有些含水量很大的細胞，在真空中很快被抽干水分，細胞的形態(tài)也發(fā)生了改變，無法對各類型細胞進行區(qū)分;

2、樣品表面不能含有有機油脂類污染物。油污在電子束作用下極端容易分解成碳氫化物、對真空環(huán)境造成極大污染。樣品表面細節(jié)被碳氫化合物遮蓋;碳氫化合物降低了成像信號產(chǎn)量:硬氫化合物吸附在電子束光路引起極大象散或吸附在探測器晶體表面，降低探測器效率。對低加速電壓的電子束干擾嚴重。

3、SEM樣品必須干燥。水蒸氣會加速電子槍陰極材料的揮發(fā)，從而極大降低燈絲壽命另外水蒸氣會散射電子束，增加電子束能量大分散，從而增大色差，降低分辨能力。

4、樣品表面必需導(dǎo)電。在大多數(shù)情況下，初級電子束電荷數(shù)量都大于背散射電子和二次電子數(shù)量之和，因此多余的電子必須導(dǎo)入地下，即樣品表面電位必須保持在0電位。如果樣品表面不與電，或者樣品接地線斷裂，那么樣品表面靜電荷存在，使得表面負電勢不斷增加，出現(xiàn)充電效應(yīng)，使圖像畸變，入射電子束減速，此時樣品如同一個電子平面鏡。

5、在某些情況下，樣品制備變成重要的考慮因素。若要檢測觀察弱反差機理，就必須消除強反差機理(例如形貌反差)，否則很難檢測到弱的反差。當希望EBSD背散射電子衍射反差，I和II型磁反差或其他弱反差機理時，磁性材料的磁疇特性必需消除樣品的形貌。采用化學(xué)拋光、電解拋光等，產(chǎn)生一個幾乎消除形貌的鏡面。特殊情況:磁性材料，必須退磁。

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