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    顯微式激光測振儀

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    顯微式激光測振儀

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    如有設備采購需求，請聯(lián)系專屬顧問。
    項目介紹

    顯微式激光測振儀（Micro System Analyzer）可用于MEMS領域的壓電片、三維慣導、壓力傳感器陣列等微小、復雜結構的三維可視模態(tài)測試。

    這種非接觸式、可視化、高精度的測試方法，代替了傳統(tǒng)的電測法，幫助用戶清楚的觀察和測量一個結構的動態(tài)特性并準確以視頻、圖片和數(shù)據(jù)的形式描述出來，

    顯微式激光測振儀通過非接觸，數(shù)字顯微和目前測量動態(tài)特性及振動精度最高的 激光多普勒測振原理，快速，高效，精準獲得壓電片的區(qū)域振 動數(shù)據(jù)，除了傳統(tǒng)二維數(shù)據(jù)的曲線描述和分析，

    還可以通過模 態(tài)動圖方式更直觀表現(xiàn)，解決傳統(tǒng)電測方法不可視，精度低， 沒有過程數(shù)據(jù)無法進行研究等問題。

    樣品要求

    1.樣品臺200mm?200mm，高度10cm以內(nèi)；

    2.用于面外和面內(nèi)振動測量，振幅分辨率達亞皮米級；振幅0.5mm以內(nèi)都可測試；

    3激光光斑小于4μm，橫向分辨率極高；測試距離大，可達38mm；實時振動測量，高達 25MHz 的大帶寬。

    項目案例

    傳感器振型三維分析圖

    常見問題
    1、應用領域包括？

    典型應用領域包括：慣性傳感器，如加速度計和陀螺儀；微機電傳感器和致動器 (MEMS) ；打印機噴墨頭；壓力傳感器薄膜；耳機、微型鏡頭等。

    尤其適用于MEMS領域的壓電片、三維慣導、壓力傳感器陣列等微小、復雜結構的三維可視模態(tài)測試。

    顯微式激光測振儀

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