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3D光學輪廓儀:非接觸式表面粗糙度與形貌測量利器
來源: 時間:2023-11-28 15:23:25 瀏覽:3888次

3D 光學輪廓儀:非接觸式表面粗糙度與形貌測量利器

 

3D光學輪廓儀是一種先進的非接觸式表面粗糙度與形貌測量設備,廣泛應用于各類精密器件及材料表面的亞納米級測量。

 

 

 

一、工作原理

3D光學輪廓儀采用白光干涉技術,通過精密的掃描系統(tǒng)和3D建模算法,對被測表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像;系統(tǒng)軟件對表面3D圖像進行數據處理與分析,獲取反映表面質量的2D、3D參數,從而實現表面形貌的3D測量。

 

二、應用領域

3D光學輪廓儀廣泛應用于納米材料、航空航天、半導體、汽車、精密制造業(yè)等領域的表面質量要求高的產品。

其主要應用于以下幾個方面:

1. 納米材料研究:對納米材料表面的粗糙度、輪廓等參數進行高精度測量,以滿足納米材料研發(fā)的需求。

2. 航空航天與半導體:對航空器、衛(wèi)星、芯片等高精度零部件表面進行粗糙度、平整度、曲率等參數的測量,以確保其性能和可靠性。

3. 精密制造業(yè):對各類精密儀器、設備及工具表面的形貌進行高精度測量,以滿足生產過程中對表面質量的嚴格要求。

4. 生物醫(yī)學:對生物組織、細胞、器官等表面形貌進行非破壞性測量,為生物學研究提供數據支持。

5. 學術研究:應用于高校、研究機構等單位的表面科學研究,為學術交流和科技創(chuàng)新提供支持。

 

三、主要性能參數

1. 影像系統(tǒng):3D光學輪廓儀采用1024x1024的高分辨率影像系統(tǒng),確保測量結果的準確性。

2. 光學ZOOM:光學ZOOM可根據不同測量需求進行調整,提供0.5、0.751等多種倍率可選。

3. 干涉物鏡:3D光學輪廓儀配備10、2.5、52050、100等多種干涉物鏡,可根據測量范圍和精度要求進行選擇。

4. XY平臺:3D光學輪廓儀配備高精度XY平臺,實現對被測表面的掃描和定位。

5. 垂直與水準軸向掃描范圍:垂直軸向掃描范圍可達60mm,水準軸向掃描范圍可根據客戶需求進行調整。

6. 校正與精度:3D光學輪廓儀采用快速校正程式和可靠算法,確保系統(tǒng)校正結果可追朔至NIST標準,實現高精度測量。

 

四、優(yōu)勢

1. 非接觸式測量:3D光學輪廓儀采用白光干涉技術,實現非接觸式表面測量,避免了對被測表面的損傷和破壞。

2. 高精度:3D光學輪廓儀具有高精度、高分辨率的光學系統(tǒng)和強大算法支持,實現亞納米級的表面粗糙度和形貌測量。

3. 快速測量:快速校正程式和可靠算法,縮短了測量時間,提高了工作效率。

4. 廣泛應用:3D光學輪廓儀可滿足各類精密表面的高精度測量需求,應用領域廣泛。

5. 靈活配置:3D光學輪廓儀具備高度彈性的組合配置,可根據不同測量需求選擇合適的光學系統(tǒng)和配件。

6. 易于操作:3D光學輪廓儀操作簡便,通過電腦控制即可實現對被測表面的非接觸式測量。

 

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全部 3小時前 四川
文字是人類用符號記錄表達信息以傳之久遠的方式和工具?,F代文字大多是記錄語言的工具。人類往往先有口頭的語言后產生書面文字,很多小語種,有語言但沒有文字。文字的不同體現了國家和民族的書面表達的方式和思維不同。文字使人類進入有歷史記錄的文明社會。
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