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FIB-SEM電鏡技術(shù)在材料分析中的應用及優(yōu)勢

來源：時間：2023-10-08 15:56:19 瀏覽：2983次

FIB-SEM電鏡技術(shù)在材料分析中的應用及優(yōu)勢

掃描電子顯微鏡（SEM）是一種廣泛應用于材料表面形貌、形變及組成分析的設(shè)備。然而，在處理一些復雜、不規(guī)則的樣品以及需要進行精細切割、觀察內(nèi)部結(jié)構(gòu)的樣品時，傳統(tǒng)的SEM存在局限性。為了克服這些限制，聚焦離子束-掃描電子顯微鏡（FIB-SEM）應運而生。

FIB-SEM電鏡原理

FIB-SEM電鏡的組成及原理

FIB-SEM電鏡是一種集聚焦離子束（FIB）與掃描電子顯微鏡（SEM）于一體的分析設(shè)備。FIB-SEM通過聚焦離子束對樣品進行局部放電，實現(xiàn)對樣品的切割、銑削、拋光等處理，同時利用掃描電子顯微鏡對樣品表面進行觀察和分析。

聚焦離子束原理

聚焦離子束是一種高能密度的離子束，通過將離子束聚焦在納米至微米尺度，實現(xiàn)對樣品的高精度切割和處理。在FIB-SEM電鏡中，聚焦離子束通常由液態(tài)金屬離子源產(chǎn)生，通過加速電壓將其引導至樣品表面。聚焦離子束具有高能量密度、高束流穩(wěn)定性和可調(diào)束徑等優(yōu)點，使其成為一種非常有效的樣品制備手段。

掃描電子顯微鏡原理

掃描電子顯微鏡是一種利用電子束掃描樣品表面，通過觀察樣品產(chǎn)生的二次電子或反射電子來獲取樣品表面形貌信息的設(shè)備。在FIB-SEM電鏡中，掃描電子顯微鏡與聚焦離子束共用一個樣品腔，可以實現(xiàn)對樣品的實時觀察和分析。

FIB聚焦離子束