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聚焦離子束FIB測試的計量技術規(guī)范盤點
來源： 時間：2022-11-14 15:23:09 瀏覽：2194次

聚焦離子束系統(tǒng)采用聚焦的離子束對樣品表面進行轟擊，并由計算機控制離子束的掃描或加工軌跡、步距、駐留時間和循環(huán)次數(shù)，以實現(xiàn)對材料的成像、刻蝕、誘導沉積和注入的分析系統(tǒng)。其應用已經(jīng)從界面檢測擴展到納米圖像制備、透射樣品制備、三維成像和分析、電路編輯和修復等，在材料科學、生物、半導體集成電路、數(shù)據(jù)存儲磁盤等領域有廣泛的應用。


但由于聚焦離子束系統(tǒng)在長期使用過程中離子束流強度、能量等的變化，導致其測量出現(xiàn)較大誤差，對于使用過程中量值準確性的保證、項目驗收等都存在極大的困難。所以迫切需要建立聚焦離子束系統(tǒng)的量傳體系，為納米技術領域的精準測量提供技術保障。


FIB計量規(guī)范的主要技術關鍵：

 

1、標準器的選擇：根據(jù)不同的計量特性，合理地選擇校準用標準器，并直接溯源到國家基準。

 

2、長度測量誤差：為了對放大范圍內長度測量誤差進行全面的校準，需要根據(jù)不同的放大倍率選擇間距合適的標準器，確保在測量時，圖像中可完整顯示5個以上周期，以降低瞄準不確定性的影響。通過重心法確定評定長度，重復測量10次，以減少測量不確定度。

 

3、長度測量重復性：根據(jù)長度測量誤差校準項目的測量條件，重復測量10次，取實驗標準差作為長度測量重復性的校準結果。

 

4、線性失真度：標準器選擇二維標準柵格。在一定放大倍數(shù)下，測量二維柵格樣板，選取一個柵格，分別平移到圖像的中心和四角，各獲取一幅圖像，分別計算X、Y方向的線性失真度。

 

5、正交誤差：標準器選擇二維標準柵格。為減小正交誤差，必須選取正交方向5個間隔以上的周期進行測量，并且重復測量3次，取均值作為示值。


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全部 3小時前 四川
文字是人類用符號記錄表達信息以傳之久遠的方式和工具?，F(xiàn)代文字大多是記錄語言的工具。人類往往先有口頭的語言后產(chǎn)生書面文字，很多小語種，有語言但沒有文字。文字的不同體現(xiàn)了國家和民族的書面表達的方式和思維不同。文字使人類進入有歷史記錄的文明社會。
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